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精密旋涂儀

簡要描述:精密旋涂儀:采用高級PLC 全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

  • 產(chǎn)品型號:HC160
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-03-05
  • 訪  問  量:1338

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:




     稱:精密旋涂儀HC160

     號:HC160

應(yīng)   用:精密旋涂儀采用高級PLC 全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

 

產(chǎn)品概述:





  HC160精密旋涂被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的,使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制,4.3英寸全彩觸屏人機界面操作,簡單易用。勻膠機在材料、化學(xué)或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
  靈巧型勻膠機設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出,具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。

 

性能參數(shù):



  • 適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;

  • 旋涂速度:100~12000rpm;轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm;

  • 旋涂加速度:100-30000rpm/s;

  • 最大旋涂時間:3000s;旋涂時間精度:0.1s;

  • 內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計;

  • 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

  • 電源輸入:AC200-230V;

 

產(chǎn)品特點:





  • 設(shè)計緊湊,可放置在手套箱內(nèi);

  • 5英寸彩色觸屏控制,人機界面;

  • 一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔;內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計,有效防濺;

  • 高級PLC全自動程序控制,可編程;

  • 帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;

  • 具有電機進膠保護功能;管路易疏通設(shè)計;具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數(shù)自動保存功能。  

  • 帶一路自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng);

  • 可設(shè)置用戶密碼保護功能;

  • 配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;

 

 

產(chǎn)品外型尺寸:

  358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)

 

HC160PE

 

 

 HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔

 

                HDPE高分子材料耐腐蝕內(nèi)腔

 

 

 HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤

        HDPE高分子內(nèi)腔及載物盤

 




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